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Advantechで実現！
半導体製造 インテリジェントリモート設備管理の主な特徴
～半導体不足解消にも貢献～
リモートおよび分散したステーションの管理
遠隔地に設置された機器の集中管理システムに、カスタマイズされた機器名ラベルを使用して、センシングネットワークを構築します。
多彩なデータ収集インターフェイス
RS-485 I/O、Ethernet I/O、ワイヤレスI/O、または産業用IoTで一般的に使用される高速PCIeカードを使用して、センサー、メーター、および機器からデータを取得します。
マシン・コンディションのモニタリング
EIoT施設、環境、産業プロセスを効果的に監視し、機械の効率、管理能力、スタッフの安全性を向上させます。
あらゆる状況に対応する有線/ワイヤレスソリューション
様々なネットワーク環境で柔軟に使用できるように、様々な有線および無線のインターフェースとプロトコルをサポートします。
様々なアプリケーションで実証済み
豊富な実績に基づき、半導体業界のさまざまなアプリケーションの要求に応えます。
ハードウェアとソフトウェアの統合ソリューション
DeviceOn/BI、DAQNavi、WebAccess/SCADAなどのアドバンテックのソフトウェアと、有線/ワイヤレスのリモートI/O、PCIeカード、スイッチ、ゲートウェイ等のハードウェアの組み合わせで包括的なリモート設備管理と制御を提供します。
【成功事例集】
◆コンプレッサー/クリーンドライエア（CDA）システムにおける状態基準保全（CBM）をリモートで実現
【課題】
・コンプレッサー、クリーンドライエア（CDA）システムの状態をリモートで監視・制御・検査したい
・LoRaWANゲートウェイ/5Gルータで、信頼性の高いワイヤレス通信を実現
・耐環境性に優れた振動センサで、コンプレッサーの状態データを送信
・柔軟に入出力のカスタマイズが出来るLoRaWAN通信リモートI/Oで、温度、湿度等の設備の情報をスムーズに取得
◆スクラバー(排ガス洗浄装置)における 状態基準保全（CBM）をリモートで実現
【課題】
・リモートで遠隔地設備（スクラバー）のシステム全体の監視や制御を行いたい
・アドバンテックのLoRaWAN製品群で、信頼性のあるリモート監視・制御・検査を実現
・過酷環境に耐えうる振動センサ設置で3軸の振動検知にも対応
・柔軟なI/Oに対応したリモートI/Oで、様々なデータ収集やスイッチ制御を実現
◆半導体製造現場におけるロボット・CVD/PVD装置のデータ収集をコンパクトリモートI/Oで実現
【課題】
・ロボットやCVD/PVD装置から電流等のパラメータをリアルタイムで取得・分析したい
・機械周辺の設置スペースが限られている
ため、小型のデータ収集機器が必要
・コンパクトなリモートI/Oで、場所を取らず効果的にデータ収集
・収集パラメータは、高性能ファンレス産業用PC:UNOシリーズを仮想サーバとして効果的にデータ分析
・リモートI/Oと仮想サーバの接続は、産業用スイッチングハブで信頼性の高い通信を実現
◆半導体前工程のウェーハ光学検査を トータルソリューションで実現
【課題】
・非破壊、非接触でウェーハを検査したい
・ロボットによるワークの搬送と同期して検査し
たい
・生産性レベルを維持しながら、高精度の検
査分析を行いたい
・産業用PC＋検査カメラのソリューションで高精度なウェーハを検査
・ウェーハの研磨後、トリガー信号を検査システムに送ることで搬送システムと同期化
・ソフトウェア「VisionNavi」で欠陥検査を行い、「NG/OK」の信号を送信
◆効果的なウェハープローバ・検査をアドバンテックのマシンオートメーションソリューションで実現
【課題】
・ウェハープローバ（テスト）において、各デバイス 、スイッチからの入力データを高精度・正確に計測したい
・産業用PC＋データ収集用カードの包括的ソリューションで、複数のデバイス/スイッチからのデータ入力・出力を高い精度で実現
◆半導体ウェハープラントの自動廃棄物処理システムの点検をLoRaWANで省力化・リモート化
【課題】
・廃棄物処理システムのモーターやファンの危険な場所での人による点検を軽減し、効率化を図りたい
・ISO-10816規格に準拠したワイヤレス振動センサで、回転設備の振動データを的確に送信
・産業用LoRaWANゲートウェイを使用し、世界中のSCADAシステムに接続出来るリモート監視を実現
